大族富创得官网：SMIF | SORTER | EFEM | ROBOT | LOADPORT | VTM | ALIGNER | OCS | RETICLE | AMHS（AMR+Stocker+OHT） 大族富创得：半导体晶圆/光罩/基板自动化传输系统整体解决方案及核心组件提供商了解更多 > 产品中心 标准机械界面 SMIF 晶圆标准机械界面 SMIF 150MM SMIF (STANDARD) 150 MM SMIF (ROTATE) 150mm 晶圆开盒器 POM 200MM SMIF (STANDARD) 200MM SMIF (ROTATE) PLM 200W-OHT(加宽版) PLM 200W-OHT PLM 200W 光罩标准机械界面 SMIF 150MM RETICLE PLM 200MM RETICLE PLM 150MM RETICLE SMIF 200MM RETICLE SMIF 200MM RETICLE SMIF (3-LINK) 标准机械界面 SMIF（客制化） 200MM EUV DUAL PLM 150MM COMPACT SMIF 150MM SMIF-SD 150MM FOR CANON EUV SMIF 200MM COMPACT SMIF 200MM SMIF-SD 200MM FOR ASM A400 SMIF 晶圆/光罩分选设备 SORTER 晶圆分选机 SORTER LAMINA SORTER L401 LAMINA SORTER L601 LAMINA SORTER L301 LAMINA SORTER L201 晶圆分选设备 SORTER （客制化） LAMINA SORTER L201（For Taiko Wafer） LAMINA SORTER L201 (晶圆打包) LAMINA SORTER L201 (OM LOADER) 光罩分选设备 SORTER LAMINA 光罩片自动传输系统 设备前端自动化模块 EFEM 设备前端模块 EFEM LAMINA EFEM L201 LAMINA EFEM L301 LAMINA EFEM L401 设备前端模块 EFEM (客制化) LAMINA EFEM （量检测） LAMINA EFEM （离子注入) LAMINA EFEM （外延） LAMINA EFEM （气相沉积/刻蚀） LAMINA EFEM （光刻） LAMINA EFEM （减薄/键合） 光罩设备前端模块 EFEM 光罩设备前端模块 EFEM（MASK） 封装设备前端模块 EFEM LAMINA EFEM （Frame Wafer） 装载系统 LOADPORT/OCS 晶圆装载系统 300MM WAFER LOADPORT 晶圆开盒器 OCS 晶圆封装装载系统 FRAME LOADPORT FRAME 开盒器 OCS 基板封装装载系统 PANEL LOADPORT 传输机械手 ROBOT WAFER ROBOT 5轴-双Z机械手系列 5轴-真空吸附式双臂FLIP ROBOT 4轴-边缘夹持型&夹持拖举型双臂 4轴-真空吸附式FLIP单臂ROBOT 3轴-伯努利单臂机械臂 3轴-夹持托举型机械臂 4轴-接触式伯努利型FLIP单臂ROBOT 4轴-真空吸附式双臂 4轴-接触式伯努利型双臂ROBOT HUMID ROBOT 4-6轴Humid四臂机械手 4轴-Humid双臂机械手 3轴-Humid单臂机械手 7轴-Humid四臂机械手 MASK ROBT 3轴-MASK单臂机械手 PLP ROBOT 4轴-双臂PLP机械手 CASSETE ROBOT 4轴-Cassette机械手 机械手选配 侧挂式TRACK 地轨式示意图 晶圆真空传输系统 VTM 150mm~200mm半导体真空传输腔体 VTM 八边形真空传输腔体 VTM 七边形真空传输腔体 VTM 六边形真空传输腔体 VTM 五边形真空传输腔体 VTM 四边形真空传输腔体 VTM 300mm半导体真空传输腔体 VTM 双入料真空传输腔体 VTM 12寸晶圆五边形半导体真空传输模组 全自动化存储系统 AMHS AMR P-RACK 便携式自动货架导引车(AGV) 200MM - 300MM 自动搬运机器人 (AMR) STOCKER 晶圆自动存储系统 STOCKER - G4 立式炉管自动化传输系统FTS 立式炉管自动化传输系统 300mm晶圆立式炉管自动化传输系统（FTS） 150~200mm晶圆立式炉管自动化传输系统 FTS STK 12寸 FTS STK FTS核心组件 Loadlock-Pass Box lodlock-V PIS-Cassette Indexer System PIS-Pod Indexer System FTS 12寸WTR FIMS 横向开门 FIMS 垂直开门 载具搬运机械手-CTR 载具搬运机械手-FTR 槽式清洗自动化传输系统WTS WTS设备 300mm晶圆WTS 150~200mm晶圆WTS 定制模组 Foup-Transfer-Robot Loadport（opener） Wafer Handling Robot 晶圆寻边器 ALIGNER 晶圆寻边器 ALIGNER 晶圆寻边器（FPA-612-V） 行业应用 关于富创得 公司简介 联系我们 服务与支持 视频中心 资料下载 常见问题 网页地图 新闻中心 公司动态 展会动态 加入富创得 FORTREND的职业生涯 社招平台 中文 English 全球语言 中文 English 荣获“国家知识产权示范企业” 大族富创得荣获“国家知识产权示范企业” 了解更多 大族富创得FORTREND 为全球领先的半导体企业提供全面的半导体自动化传输解决方案。 了解更多 SMIF 系列 多项SEMIE认证 | 3种车身 | 9种机械手 | 兼容OHT和AGV加载 了解更多 光罩装载系统PLM 轻小设计 | ISO 1级 | 兼容OHT | E100 RSP和EUV E152标准 | 可编辑电气应用软件 了解更多 100+ 全球专利超100项 45年+ 半导体行业经验 客制化 半导体自动化传输整体解决方案 产品推荐 标准机械界面 SMIF 晶圆/光罩分选设备 SORTER 设备前端自动化模块 EFEM 装载系统 LOADPORT/OCS 传输机械手 ROBOT 晶圆真空传输系统 VTM 全自动化存储系统 AMHS 立式炉管自动化传输系统FTS 槽式清洗自动化传输系统WTS 晶圆寻边器 ALIGNER 标准机械界面 SMIF 所有Plus 500型号均具有多种工具接口选项：带快速释放闩锁的菱形销接口板和独立地板安装，可在15分钟或更短的时间内重新连接到几乎任何工艺工具。 了解更多 > 150MM SMIF (STANDARD) 150MM SMIF (STANDARD) 了解更多 > 150 MM SMIF (ROTATE) 150 MM SMIF (ROTATE) 了解更多 > 晶圆/光罩分选设备 SORTER 了解更多 > LAMINA SORTER L401 LAMINA SORTER L401 了解更多 > LAMINA SORTER L601 LAMINA SORTER L601 了解更多 > 设备前端自动化模块 EFEM 了解更多 > LAMINA EFEM （量检测） LAMINA EFEM （量检测） 了解更多 > LAMINA EFEM （离子注入) LAMINA EFEM （离子注入) 了解更多 > 装载系统 LOADPORT/OCS 了解更多 > 300MM WAFER LOADPORT 300MM WAFER LOADPORT 了解更多 > FRAME LOADPORT FRAME LOADPORT 了解更多 > 传输机械手 ROBOT 了解更多 > 5轴-双Z机械手系列 5轴-双Z机械手系列 了解更多 > 4轴-Cassette机械手 4轴-Cassette机械手 了解更多 > 晶圆真空传输系统 VTM 了解更多 > 双入料真空传输腔体 VTM 双入料真空传输腔体 VTM 了解更多 > 12寸晶圆五边形半导体真空传输模组 12寸晶圆五边形半导体真空传输模组 了解更多 > 全自动化存储系统 AMHS 了解更多 > 天车（OHT） 天车（OHT） 了解更多 > P-RACK 便携式自动货架导引车(AGV) P-RACK 便携式自动货架导引车(AGV) 了解更多 > 立式炉管自动化传输系统FTS 了解更多 > 300mm晶圆立式炉管自动化传输系统（FTS） 300mm晶圆立式炉管自动化传输系统（FTS） 了解更多 > 150~200mm晶圆立式炉管自动化传输系统 150~200mm晶圆立式炉管自动化传输系统 了解更多 > 槽式清洗自动化传输系统WTS 了解更多 > 300mm晶圆WTS 300mm晶圆WTS 了解更多 > 150~200mm晶圆WTS 150~200mm晶圆WTS 了解更多 > 晶圆寻边器 ALIGNER 了解更多 > 晶圆寻边器（FPA-612-V） 晶圆寻边器（FPA-612-V） 了解更多 > 公司简介 上海大族富创得科技股份有限公司是一家高新科技企业、科技小巨人企业、“专精特新”企业，于2017年3月入驻上海市闵行区。全球员工超650人，共有五个子公司和研发中心，总占地面积约36000㎡，分别为：浙江大族富创得科技有限公司、浙江富创得智能装备有限公司、无锡富创得智能科技有限公司、无锡富创得精密设备有限公司、美国富创得工程公司... 大族富创得企业宣传片 200mm 晶圆标准机械界面 SMIF 晶圆传输机械手 WAFER ROBOT 半导体晶圆分拣机 SORTER 设备前端自动化模块 EFEM 行业应用 MORE> SMIF系统的优势 在半导体制造业中，一粒肉眼无法看见的微尘，就可能导致缺陷、降低良率，甚至使整批晶圆报废，因此行业高度依赖污染控制技术，其中具有代表性的便是晶圆标准机械界面（SMIF）。 符合SEMI ISO 1级标准的EFEM解决方案 符合SEMI ISO 1级标准的EFEM解决方案 富创得晶圆分选设备如何提高晶圆分选效率 富创得晶圆分选设备 · 晶圆分选 半导体设备EFEM 设备前端模块（EFEM）是半导体制造中至关重要的组成部分，它通过受控的微环境确保清洁度要求，实现晶圆的自动装卸。它连接前端和后端物流，促进材料转移、设备控制和过程协调。 晶圆机器人的深度分析 随着消费电子、汽车、电信和医疗保健等各个行业对半导体的需求持续增长，半导体生产能力和质量已成为影响行业竞争力的关键因素。在半导体设备向更高效率、精度和自动化发展的过程中，晶圆搬运机器人（ROBOT）发挥着至关重要的作用。这种专用设备不仅提高了生产效率，还确保了晶圆搬运过程中的安全性和准确性，使其成为实现高效和高质量生产的关键部件。 晶圆标准机械接口（SMIF）隔离技术 众所周知，传统晶圆需要在相对封闭和无尘的条件下生产和运输。通常，生产设备被放置在符合晶圆生产要求的高洁净室中。随着现代半导体技术的快速发展，对工艺环境的要求变得更加严格。高洁净度、高产率、高灵活性和低成本已成为行业竞争的趋势。传统的清洁技术很难满足这些要求。因此，SMIF隔离技术应运而生。 SMIF负载端口解决方案 AMAT Endura 宽体型 2x PLUS 500S；Axcelis GSD 200E PLUS 500S；AMAT Centura 窄体型 2x PLUS 500R 合作伙伴 全球服务 FORTREND为全球客户提供本地化的技术支持和售后服务，确保设备稳定运行和持续优化。 服务与支持 → 获取报价 → 联系我们 * * * * 您是从哪里了解到富创得?（多选） 展会 活动 宣传手册 微信公众号 搜索引擎 百家号 微博 抖音 视频号 TikTok 知乎 广告 其他 * 您对什么产品感兴趣?（多选） 标准机械界面 SMIF 晶圆/光罩分选设备 SORTER 设备前端自动化模块 EFEM 装载系统 LOADPORT/OCS 传输机械手 ROBOT 晶圆真空传输系统 VTM 全自动化存储系统 AMHS 立式炉管自动化传输系统FTS 槽式清洗自动化传输系统WTS 晶圆寻边器 ALIGNER 提交 声明：本网站所展示产品外观、参数、性能描述、对比数据等均来自大族富创得内部实验室自有产品的检测和实验，仅供参考，以实物及实际参数为准，不做为法律依据。 产品中心 标准机械界面 SMIF 晶圆/光罩分选设备 SORTER 设备前端自动化模块 EFEM 装载系统 LOADPORT/OCS 传输机械手 ROBOT 晶圆真空传输系统 VTM 全自动化存储系统 AMHS 立式炉管自动化传输系统FTS 槽式清洗自动化传输系统WTS 晶圆寻边器 ALIGNER 行业应用 半导体 关于富创得 公司简介 联系我们 服务与支持 视频中心 资料下载 常见问题 网页地图 联系我们 ************service@*************** 上海市闵行区万芳路555号1号楼102、202室 获取富创得的最新消息 友情链接： 无锡智能科技 无锡精密设备 美国富创得工程公司 隐私政策 · 使用条款 · 网站地图 全球语言 中文 English Copyright © 富创得FORTREND 版权所有 沪公网安备31011202021115号 沪ICP备2023005490号-5 本网站直接或间接向消费者推销商品或者服务的商业宣传均属于“广告”（包装及参数、售后保障等商品信息除外） ************
